灵敏度、反应时间、清除时间、工作真空度、级限真空度及仪器入口处抽速是评价真空箱氦质谱检漏仪的主要性能指标。

①灵敏度及其校准

氦质谱检漏仪灵敏度，通常指仪器的较小可检漏率。记为qL.min，即在仪器处于较佳工作条件下，以一个大气压的纯氦气为示漏气体，进行动态检漏时所能检测出的*小漏孔漏率。所谓“*佳工作条件”是指仪器参数调整到*佳值，被检件出气少且没有大漏孔等条件。所谓“动态检漏”是指检漏仪器本身的抽气系统仍在正常抽气。仪器的反应时间不大于3s。所谓“*小可检”是指检漏讯号为仪器本底噪声的两倍时，才能认定有漏气讯号输出。所谓“漏孔漏率”是指一个大气压的干燥空气通过漏孔漏向真空侧的漏气速率。仪器本底噪声，一般指在2min内输出仪表的波动量。

②反应时间、清除时间及其测定

反应时间是指仪器节流阀完全开启，本底讯号为零（或补偿到零）时，由恒定的氦流量使输仪表讯号上升到值的（1-e-1）倍（即O.63）所需要的时间，记为τR。

清除时间是指输出仪表讯号稳定到值后，停止送氦，其讯号下降到值的e-1倍（即O.37）所需要的时间，记为τC。

③工作真空、级限真空及入口处抽速

质谱室级限真空，尤其是工作真空及入口处抽速是表征仪器性能的重要参数。利用检漏仪的真空规可以测定仪器的级限真空和工作真空。利用流量计可测定仪器入口处抽速。

科技信息化不断更新迭代的市场，真空箱氦质谱检漏仪的应用技术也在不断发展和完善。一方面过去的氦质谱检漏仪不能满足现阶段的一个需求，而且对检漏仪提出新要求的情况下，检漏仪设备被迫更新，另一方面每个行业的不足都在进步的过程，缺陷与不足相互补充，相互促进。而现在的氦质谱检漏仪早已告别了四五十年代的初期情形，在性能和领域上都有新的突破。

真空箱氦质谱检漏仪进展集中体现如下方面：

1.智能化：以往的真空箱氦质谱检漏仪操作非常辅助，而现在的触屏式，自动检测。

2.便捷化：这几年市场上各种小型便捷的检漏仪能够为行业提供小巧而灵敏性高的设备。

3.自动化程度高：自动校准氦峰，自动调节零点，量程自动转换，自动数据处理，可外接打印机。整机由微机控制，菜单的选择功能，一个按钮即可完成一次的全检漏过程。

4.全无油的干式检漏：有些生产的检漏仪，可采用干式泵，达到无油蒸气的效果，为无油系统及芯片等半导体器件的检漏，提供了有利条件。

5.检漏范围宽：现今生产的四级检漏仪，质量范围很宽，不仅可检测氦气，而且能检测其它气体。